二手 ULVAC SIH-3030 #9078344 待售

ULVAC SIH-3030
製造商
ULVAC
模型
SIH-3030
ID: 9078344
Sputtering system.
ULVAC SIH-3030是ULVAC生產的濺射設備,是先進真空技術的領先者.該系統是為研發和中小型生產而設計的通用可靠的濺射裝置。它具有強大的直流濺射電源,500V時可達到5千瓦。它可以支持兩到四個目標,允許多層沈積或雙目標層壓。結合高精度閉環控制,該單元可提供優越的濺射屈服,同時保持最高水平的均勻性。四門獨立的傾斜式火炮能夠同時監督兩三個工序室,減少工序時間,增加吞吐量。它的模塊化設計允許根據客戶的需求定制配置,其標準選項包括薄膜厚度監控、遠程控制和預設沈積配方。此外,先進的自動化功能允許管理多達200種濺射配方和多種氣體控制功能。SIH-3030還具有用戶友好的GUI界面,使操作員能夠從單個控制臺快速設置和控制參數。易於使用的菜單允許對壓力、位置、放電啟動、氣流等多個變量進行監控。此外,機器還有一個先進的監控模塊,可以連接到多個攝像頭,跟蹤過程的進度,保證生產效率。ULVAC SIH-3030濺射工具是一種將材料濺射到基板上的有效工具。它的模塊化設計、高精度控制和高級自動化功能確保了卓越的效果,同時大大縮短了工藝時間。憑借其用戶友好的界面和先進的監控資產,SIH-3030是滿足您所有濺射需求的可靠且經濟高效的解決方案。
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