二手 ULVAC SIH-450 #9313935 待售

ULVAC SIH-450是ULVAC為各種應用而設計和制造的高端濺射設備。該系統旨在在最具挑戰性的真空沈積應用中提供可靠一致的濺射處理。SIH-450是一種用於反應性和惰性濺射以及磁控管濺射沈積的單源溶液。ULVAC SIH-450的工作區域為800mm x 600 mm,還配有集成的沈降片,可在沈積過程和沈積後過程中實現一致的晶圓冷卻。溫度均勻度為+/-0.5 °C,此單元可確保對過程進行溫度和壓力優化,以提供高度均勻的濺射沈積。該機為每個目標和最大直流功率12kW配備獨立功率控制。它還有一個離子源，可以提供精確的離子清洗和輔助濺射過程。此外，SIH-450還配備了堅固可靠的渦輪分子泵，與ULVAC All-MFC（監測流控制）一致濺射沈積控制相結合，保證了精確的摩爾流控制。該工具提供了真空水平、工藝壓力、溫度和時間等廣泛的可調腔室參數，所有這些參數極易控制和監控。該資產還配備了直觀的觸摸屏界面，可用於控制舒緩的操作，提供實時的流程數據，並允許遠程訪問。ULVAC SIH-450可以涵蓋從薄膜沈積到厚膜沈積，以及濺射Si、Si@@-Ge、Si@@-C和其他基質等廣泛的過程，如PVD和CVD。SIH-450具有出色的控制性能、簡單的操作和低廉的運營成本,是提高工藝產量和縮短周期時間的可靠且經濟高效的方法。