二手 ULVAC SIH-4545 #9050844 待售

ULVAC SIH-4545是用於制造微電子器件的先進濺射設備。它被設計成提供均勻、精確的薄膜沈積到基板上，具有很高的準確性和可重復性。該系統還可用於復雜結構的薄膜沈積，如互連和金屬氧化物電阻器。SIH-4545單元由四個獨立的濺射源和一個鎖載室組成。這些源分別由2800W磁控管供電，安裝在機器的正面。這使得選擇的目標材料可以均勻均勻地濺射，並具有廣泛的加工氣體，其中包括氙氣、氮氣和氧氣。其中包括一個可重復的高分辨率快門工具，用於精確控制等離子體濺射過程。鎖載室設計用於快速樣品加載，並提供自動化樣品分析和樣品表面預處理（如等離子體活化清潔和等離子體增強型化學氣相沈積）。此功能進一步增強了資產的多功能性。ULVAC SIH-4545還具有其他一些旨在提高生產力的功能。例如，它可以達到高達2000納米/分鐘的高沈積速率。根據材料的不同，它還可以在大於90%的大面積上實現高均勻性。其平均沈積均勻度在1-2%以內，模型也是為了滿足最苛刻的無缺陷薄膜要求而設計的。設備設計符合安全標準，堅固可靠，壽命超過3萬小時。它還配有一個集成的制冷系統和一個低維護水回收單元。最後,ULVAC提供了廣泛的附件,例如測量工具、過程自動化系統和可升級的Film Monitor Module。總之,SIH-4545是一種多功能、可靠、功能強大的濺射機.其廣泛的特點允許在大型基板上進行高質量和精確的薄膜沈積。它設計方便用戶，為各種微電子器件制造應用提供高性能和可靠性。