二手 ULVAC SIH-4545 #9055116 待售

ULVAC SIH-4545是一種濺射設備，用於從各種目標沈積薄膜塗層。該系統由超高真空室、基板加熱元件、強大的射頻電源和濺射槍組成。使用加速氣體，如Ar、Ar/O2或Ar/N2，濺射槍向目標傳遞高功率的離子束，導致濺射或原子釋放到目標上。離子的這種轟擊提供了目標材料在基質上的均勻沈積。超高真空（UHV）室設計為提供1.0x10-10 Pa至10-3 Pa範圍內的基本壓力水平，由連接閘閥的2級粗加工泵和渦輪分子泵機組成。HI Speed Roughing Pump提供75至110 Pa範圍內的深度真空水平，而Turbo Molecular Pump則提供幾mPa範圍內的更高真空。這與密封室的金屬密封和烘烤操作相結合，允許一個非常幹凈的加工環境。加熱元件，通常是大功率紅外燈，在加工過程中提供對基板溫度的精確控制，允許一致和可重復的結果。SIH-4545的射頻（RF）電源在整個濺射過程中提供可靠穩定的電源。穩定的射頻功率水平，加上快速的處理速度，使得濺射機成為大型復雜基板表面的理想選擇。ULVAC SIH-4545中的濺射槍提供了可調離子源。它被設計用來產生高功率、短程的撞擊離子，從而允許快速和均勻的塗層沈積到基板表面上。濺射槍可調節產生的離子等離子體的直徑，允許精確控制所施加的塗層厚度。離子源可以配置為DC或RF操作，DC選項適用於玻璃等低靈敏度基板，RF選項適用於矽片等更敏感的基板。SIH-4545提供了一種精確、可重復和靈活的濺射工具，用於在一系列材料上生產薄膜塗層。可調離子源，結合精確的基板加熱元件和超高真空室，提供了可控清潔的加工環境，使目標材料可重復均勻地沈積到基板表面上。