二手 ULVAC SIV-200S #293637678 待售

ULVAC SIV-200S濺射設備是一種高精度物理氣相沈積（PVD）系統,旨在滿足各種生產和研究需要。該單元由連接到ULVAC原始高溫磁控管濺射源的真空室、磁控管可變壓力系列（MVPS）組成，允許精確且均勻的塗層沈積。獨特的真空室設計，尺寸為300 x 300 x 200mm，結構復雜，使本機即使在各類材料的沈積中也能達到精確的厚度均勻性和均勻性。SIV-200S還具有ULVAC原始射頻施加基板Chuck的改進版本,用於平整度調整。這種調節工具使用了ULVAC新的高溫雙極喉嚨（HTBT）工藝，允許基板的精確均勻性。該資產還具有交流發電機驅動機構，以盡量減少在PVD過程中產生缺陷的可能性，並提高沈積的均勻性。此外，ULVAC還設計了一種超高速、低飛行時間質譜儀，用於精確分析目標源和濺射元件。質譜儀能夠高精度地測量有助於塗層顏色和特性的所有成分的分數。ULVAC SIV-200S功能具有先進的安全和互鎖模型。所有安全和聯鎖功能都受到持續監控，設備可以快速、輕松地從腔室或腔室部分移入和移出。這樣可以快速方便地維護和清潔系統。總體而言，SIV-200S濺射裝置是一種強大可靠的機器，非常適合各種材料的高精度濺射。其強大的設計和復雜的安全和聯鎖工具確保塗層的均勻性和快速的分析，進一步增加了它的多功能性。該資產非常適合生產和研究需要,可確保高精度和可靠性。