二手 ULVAC SIV-200S #9162025 待售
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ID: 9162025
Sputtering systems
(6) Substrate holders, 4"
MFC:
Ar 200 sccm
O2 2 sccm
H2O 5 sccm
Pumping system:
ULVAC U-8H Cryo pump
ER400 Dry pump
2010 vintage.
ULVAC SIV-200S是一種最先進的濺射設備,設計用於將材料薄膜沈積到基板上以用於各種應用。該系統利用射頻濺射使目標材料汽化，並以均勻的方式將汽化材料沈積到基板上。船上SIV-200S有兩個平面磁控管，每個磁控管占單位的一半。機器的設計允許雙目標操作，使得一次運行就可以將兩種不同的材料沈積在基板上，從而減少制造時間和成本。此外，該工具還具有一個自動凈化室，用於清洗腔室，這也最大程度地提高了沈積均勻性。該資產配備高容量真空泵，可達到1.3 x 10-3 Pa的壓力，並在連續或批量處理模式下運行。這對於某些薄膜尤其重要，因為生產高質量薄膜需要低壓基板。ULVAC SIV-200S還具有精確的溫度控制功能；腔室和基板支架均由兩個獨立的風冷溫度控制器單獨控制,從而能夠精確、均勻地沈積適當的溫度窗口,消除沈積膜中的缺陷。高質量薄膜由於其均勻的薄膜厚度模型，無論目標材料的厚度或與基材的距離如何，都能使基材和靶材保持在恒定的間隙，因此可以用SIV-200S精確快速地沈積。這樣可以確保在整個基板上均勻沈積。此外,一個快速PCR掃描和薄膜厚度監測標準的設備.ULVAC SIV-200S是一種功能強大且可靠的濺射系統,可提供更薄、更均勻的薄膜所需的精度和精確度。憑借其強大的真空泵、雙磁控管單元、精確的溫度控制、均勻的薄膜厚度機，以及單程沈積兩個不同制造商的能力，SIV-200S是多種薄膜沈積的絕佳選擇。
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