二手 ULVAC SIV-500 #9382251 待售

ULVAC SIV-500是一種濺射設備,用於在基板表面（如計算機芯片）上創建薄膜。這種濺射系統使用稀薄氣體，典型的​​氙氣，作為將材料沈積到基板上的來源。利用高電壓，氙離子向基板表面加速，從基板頂層敲走並沈積材料。此過程可用於創建兩塊通過薄膜連接的平板，有利於創建計算機芯片。SIV-500采用500毫米乘420mm真空室,內部容積約850升。它總共配備了四個濺射源（三個磁控管和一個直流平面），可以在XYZ級圍繞基板移動。它具有低溫濺射和偏壓濺射的能力，使得它能夠在基板表面上產生不同密度的薄膜。設備還帶有視口和查看軟件,用於監視濺射過程。ULVAC SIV-500還配備了用於裝載和卸載直徑達8英寸的基板的裝卸模塊。它可以處理重量高達5公斤的濕加工盒式磁帶，一次最多可裝載三個基板。它配有內置的基板冷卻器，以降低基板的溫度，還有一個正交的視圖照相機實時檢查沈積過程。SIV-500能夠在10納米到幾微米厚的範圍內制作薄膜。ULVAC SIV-500是高效濺射過程的理想機器。它可以處理各種基板，非常適合半導體、LED和顯示器行業的各種應用。它具有高級功能,例如提供高吞吐量的load-lock/unload-lock工具,以及實時過程監視功能,可確保每個沈積過程以最佳狀態運行。所有這些特性，加上SIV-500的模塊化設計，使其成為濺射薄膜的理想資產。