二手 ULVAC SIV-850 #9050843 待售
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單擊可縮放
ID: 9050843
優質的: 2006
Vertical inline sputtering system
Includes:
Sputtering method: RF Sputtering side moving deposition
Process: Exhaust operation, film-forming operation
Exhaust system: Turbo molecular dry pump
Process Gas: Ar, O2
Substrate: 850 mm x 1250 mm (max. effective)
No return system
2006 vintage.
ULVAC SIV-850是一種用於工業應用的PVD(物理氣相沈積)濺射設備。該系統基於ULVAC獨特的磁控管濺射技術,能夠在廣泛的基板上生產金屬、氧化物和其他材料的薄膜。該單元的高級設計經過優化,以實現性能和簡潔性,並具有緊湊的占地面積和較低的擁有成本。SIV-850可自動控制過程參數,包括溫度、壓力、射頻功率和功率密度。該機器利用在直流、脈沖直流或射頻模式下工作的多個濺射源,允許廣泛的潛在應用。該工具設計用於多種材料類型,包括純金屬和合金靶標以及復雜的多層堆棧,使其能夠靈活適應各種薄膜沈積需求。該資產經認證可用於潔凈室操作,具有一系列安全功能,包括在超出安全操作參數時自動關閉。它還設計用於保持沈積室內的恒定溫度,提供均勻和可重現的結果。它還提供了通過其內置用戶界面實時監控流程參數的能力,從而可以輕松優化流程配方。模型的先進設計也保證了沈積速率的高度一致性和可重復性,同時也減少了顆粒沈積。這提供了非常薄膜的可靠層,即使在以高沈積速率處理復雜結構時也是如此。此外,ULVAC獲得專利的「直接寫入」技術使現場沈積成為可能,只能在需要的地方沈積材料。ULVAC SIV-850是工業薄膜沈積應用的絕佳選擇,具有優異的性能、靈活性和可靠性。它也是一種價格合理的設備,對小型和大型生產環境都具有吸引力。
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