二手 ULVAC SMD-1800 #9384066 待售

ULVAC SMD-1800是一種高性能濺射設備,通常用於薄膜設備的制造。它是為工業應用而設計的，在這些工業應用中，優越的濺射塗層質量是至關重要的。SMD-1800采用二極管式射頻濺射工藝，利用集成的五軸機械臂進行高速率有模式的濺射沈積。濺射單元是一種雙頭配置，具有外部磁控管電源和每個電源單獨的直流或射頻電源。該單元提供廣泛的收集材料，如鋁，鈦，銅，合金。該系統具有靈活的內部結構，易於維護和維修，易於手動調整源。可調整的濺射壓力室可以精確控制氙氣環境，使其成為平面基板上有圖樣且均勻的濺射沈積的理想選擇。射頻頻率是可調的，結合外部施加的軸向磁場，使薄膜沈積具有更大的靈活性。該裝置還有一個可選的基板加熱板，以促進增加沈積均勻性，以及幾個用於提高工藝控制的原位監控工具。ULVAC SMD-1800是一種具有實時作業控制和過程優化GUI的全自動機器。機械臂最多可容納6個「x 6」基板，能夠將圖樣化和未圖案化的基板轉移到濺射環境中。這使得它非常適合從平面數據存儲設備到薄膜晶體管以及其他濺射沈積應用的應用。整個工具是一種高效的資產,提供卓越的流程能力和質量。適用於高速薄膜的沈積和塗層，精度高，精度高。它也是高度安全的，有幾個特點，以防止意外危險。具有出色的濺射速率、厚度均勻性和過程穩定性,SMD-1800一定會為您提供所需的結果。