二手 ULVAC SMD-1800X #9313943 待售

ULVAC SMD-1800X是為高質量薄膜沈積而設計的濺射設備.該系統包括一個先進的運動控制運動濺射裝置、一個用於高效腔室疏散的超高真空室，以及一個獨特、精密的過程機器，其中包括一個智能過程管理工具。運動控制濺射資產既能產生反應性薄膜，又能產生非反應性薄膜。它由四個濺射源組成，可分別或同時濺射多達三種化合物。它還包括一個八磁盤，安裝在目標腔室上，用於穩定的濺射環境。磁盤確保在基板上有均勻的薄膜沈積，使沈積誤差最小化。高性能腔室快速疏散，短時間內達到超高真空。它具有開放式腔室設計，包括四個用於監測和控制沈積過程的光學窗口。此外，它還為基板電阻配備了高效的、多區域的高程模型。這允許均勻的基板升高以維持所需的腔室溫度。多功能工藝設備包括先進的高性能基板定位系統和最先進的基板溫度控制器。它還包括智能工藝管理單元（IPMS），該單元旨在方便地設置工藝參數，並提供關於沈積膜質量的快速反饋。「過程檢查」功能可以在整個沈積過程中執行各種檢查，以提供有關沈積過程性能的信息。利用SMD-1800X機器的先進技術，提高了薄膜沈積的精度和速度，降低了工藝成本。該工具操作精密、高效，為制造先進電子器件和薄膜研究提供了理想條件。