二手 ULVAC SMD-2400C #293755343 待售

ULVAC SMD-2400C是一種用於通過物理氣相沈積（PVD）沈積薄膜的濺射設備。該系統配備了一個24目標、圓形、直接型源，使其能夠以不同角度和方向濺射各種目標材料，從而在大面積上實現均勻的薄膜生長。這個單元是研發半導體器件和生產平板顯示器（FPD）的理想之選。SMD-2400C由雙頻直流磁控管（DF-DCM）電源供電,提供出色的粒子控制和濺射穩定性。該電源還提供防弧功能,可用於防過熱和防氧化操作。此外，該機還配備了一個氙氣源和一個獨立氣體傳感器，兩者都保證了對濺射氣體的有效控制和輸送。該工具還具有一個濺射源選擇器，該選擇器允許用戶選擇要濺射的目標和順序。此外，該資產還提供多級離子蝕刻處理，以產生高分辨率模式和低線寬。ULVAC SMD-2400C配備了廣泛的自動真空控制，允許使用超高真空甚至LPCVD（低壓化學氣相沈積）工藝。此外，該模型還提供了先進的無顆粒目標粘合，不需要不斷清潔和更換顆粒。SMD-2400C能夠處理多種批量,使其成為高效、經濟高效的設備。此外,系統還提供了一個交互式用戶友好的GUI,其中包含許多用戶定義的參數,使用戶能夠最大限度地提高其流程結果。綜上所述,ULVAC SMD-2400C是一個功能強大且高效的濺射裝置,提供先進的自動化和控制、多目標以及廣泛的自動真空控制。這臺機器非常適合薄膜的沈積，用於研究和生產操作。