二手 ULVAC SMD-450 #9269728 待售

ULVAC SMD-450濺射設備是一種高精度濺射沈積系統，用於將薄膜沈積到樣品上，用於各種應用。該單元由多室機器組成，提供多種濺射選項，包括磁控管濺射工具、電子束蒸發和無快門濺射沈積資產。SMD-450 Sputtering Model的每個組件腔室都獨立運行,並利用自己的過程控制器,工作壓力高達1.0 mTorr。該鎖載室用於將樣品引入設備，並在需要時進行脫氣和樣品制備離心機操作。該系統還可用於加工各種基材，如玻璃、石英和陶瓷，以及結晶材料，如Si、SiGe、Ge。該設備的樣本量範圍為5mm x 5mm至200 mm x 200 mm。ULVAC SMD-450的磁控管濺射機可用於沈積Al、Cu、Au、Ta、Ag、Ni等金屬薄膜。利用最新技術，該工具能夠生產出殘余應力低、附著力好的優質薄膜。此外，SMD-450還配備了原位等離子體監測資產，能夠對沈積膜的性能進行精確的過程控制和測量。ULVAC SMD-450的電子束蒸發成分利用安裝在濺射室側面的電子束槍。該組分非常適合用於蒸發應用，如特種金屬沈積、合金沈積和矽化物形成。無殼濺射沈積模型由於能夠連續沈積幾層材料而不需要加工室的機械快門，因此集成到SMD-450的快速可靠的處理時間中。最後,ULVAC SMD-450為用戶提供了廣泛的過程控制選項,包括自動溫度控制設備和樣品室實時監視器,可提供精確的濺射沈積時間、均勻性和均勻的表面覆蓋。SMD-450是一個可靠和高精度的濺射系統，可以為廣泛的應用提供準確和可重復的沈積結果。