二手 ULVAC SMD-450 #9269729 待售

ULVAC SMD-450是一種設計用於薄膜沈積過程的高度先進的濺射設備。由於其許多先進的功能和組件,它能夠以非常高效的方式生產各種薄膜。該系統采用超高真空室，能夠保持高達10-5 Pa的壓力水平，從而實現高達1.5 nm/s的濺射速率。SMD-450是一個雙級模塊化單元，允許用戶組合不同的濺射源（包括直流、脈沖和過濾過的陰極電弧源），以達到理想的效果。該機器能夠濺射低至高粘度材料，包括無定形和多晶金屬、陶瓷、復合材料和介電材料。它還能夠濺射化合物，這在許多薄膜太陽能電池應用中尤為重要。該工具的設計使得不同化合物的濺射可以在單個運行中實現，從而實現了很高的工藝效率。此外，資產具有優異的底物偏差、射頻、等離子體清洗能力。這可以讓用戶獲得質量更好、表面形態更緊密、密度更高的薄膜。薄膜的均勻性也通過其ECR（誘導電弧放電）源技術得到增強，這有助於查明發生濺射的底物區域，從而確保均勻和均勻的沈積特性。高達8 nm/min的致密沈積速率，加上沈積多種材料的能力，使得ULVAC SMD-450薄膜制造的一個有價值的工具。該模型的靈活性、質量和整體效率使其非常適合用於電子應用,如硬盤和隧道磁阻（TMR）頭生產,以及光學應用,如抗反射（ARD）和透明傳導氧化物（TCO）生產。而且，它的高吞吐量和高粘度工藝兼容性意味著它可以用於數字鏡像設備（DMD）的生產。