二手 ULVAC SMD-450 #9269730 待售

ULVAC SMD-450是一種直流磁控管或二極管濺射設備，設計用於薄膜在一系列基材上的氣相沈積。這種設備能夠提供低沈積率和高沈積率以及高厚度分辨率。濺射系統用於半導體、MEMS和光學器件制造工業的生產過程。SMD-450提供高性能75毫米濺射室,總尺寸為630mm x 725mm x 1035mm。它設計可容納高達450mm的晶片，並有一個350 mm x 350 mm的旋轉轉盤，用於在晶片表面均勻沈積薄膜。該系統配備了三磁控極化濺射配置，用於均勻的厚度控制。為確保運行可靠，機組配備了13.56MHz射頻電源和溫度控制器。此外，ULVAC SMD-450包括一個通用真空源，用於高度統一和高效的操作。為控制SMD-450，該機配備了高科技觸摸屏界面。用戶可以快速、輕松地對濺射功率、沈積時間等工具參數進行編程，以滿足他們的需求。該資產還擁有一個直觀和用戶友好的軟件，以簡化操作程序。總體而言,ULVAC SMD-450是生產高質量薄膜的完美解決方案,適用於各種應用。它提供了多功能性、性能和可靠性的完美組合,以實現高效的操作。憑借直觀的軟件和觸摸屏界面，用戶可以快速、輕松地對模型進行編程，以滿足他們的應用需求。這為用戶提供了為廣泛應用生產高質量薄膜所需的靈活性和精確度。