二手 ULVAC SMD-450 #9269732 待售
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ID: 9269732
Sputtering system
Turbopump
Flange
Place machine
Robot controller
(3) Baby frames
(5) Frames
Rotary pump
UPS
Circulating water unit.
ULVAC SMD-450濺射設備是一種全自動的高性能沈積系統。該單元是一個磁控管為基礎,單室,臺式機器,設計用於薄膜真空沈積到基材。該工具的先進設計允許精確控制沈積過程的參數,使用戶能夠沈積具有出色均勻性、出色附著力和最小基板加熱的薄膜。SMD-450濺射資產具有先進的真空技術,以及用於精確控制沈積過程的強大電子設備。該模型包括集成的交流磁控管和直流磁控管濺射陰極、真空渦輪分子泵,以及能夠達到1000瓦輸出功率的大功率射頻發電機。該設備還配備了數字用戶界面,便於訪問和實時監測沈積參數。系統的交流磁控管電源提供高功率、高頻輸出,可以調整以改變沈積速率。該單元還設有弧濾機、可變氣體噴射工具和石英鎖定定位器,所有這些都有助於確保最高精度和可重復性。ULVAC SMD-450 Sputtering Asset可用於沈積各種具有出色均勻性和附著力的薄膜,包括金屬、氧化物、氮化物和碳化物。該模型的高性能濺射陰極可實現精確的逐層沈積,以及較厚層的快速沈積。該設備還能夠進行反應性離子蝕刻和離子束輔助沈積,以提高質量和精度。總體而言,SMD-450濺射系統是一種用於高質量、可重復薄膜沈積的強大、準確、可靠的沈積單元。其先進的設計和特點使用戶能夠以最小的基板加熱和優異的均勻性和附著力達到精確的沈積效果。有了這臺機器,廠商可以生產出高耐用可靠的薄膜,用於多種應用,如半導體和介電膜、光學反射膜、電鍍薄膜等。
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