二手 ULVAC SMD-450 #9269735 待售

ULVAC SMD-450是ULVAC制造的高性能濺射設備。它具有先進的全自動沈積工藝，能夠對各種材料進行高質量、可重復的薄膜沈積。該系統設計為與各種真空室配置兼容，並具有用戶友好的操作界面。SMD-450具有強大的源設計，能夠實現高濺射功率和沈積速率。它具有450升的加工室容積，最大沈積速率高達4nm/s。該單元包括一個帶有加熱卡盤的旋轉基板支架，允許樣品旋轉速度高達300 RPM。它可以容納直徑不超過200毫米的基板，沈積目標尺寸可以定制以適合各種形狀和尺寸。ULVAC SMD-450配備了受保護的濺射源，在所有基板上提供均勻且可重復的濺射沈積物。該機還提供了幾種內置的過程控制功能，包括紅外熱力計、加熱器的精確溫度監測和控制，以及用於基板放置的高速重定位器。此外，該工具有一個集成的機器人手臂，使其易於管理，加載和卸載基板的飛行。SMD-450是無接觸濺射資產，能夠沈積諸如氮化矽、氧化鋁和鈦等材料。該模型是在不同基板和組件上生產厚度樣式均勻的薄膜的可靠且經濟高效的替代品。ULVAC SMD-450是先進薄膜工藝研發的絕佳工具。