二手 ULVAC SMD-450 #9269742 待售

ULVAC SMD-450濺射設備是一種用於將薄膜沈積在晶片和基板上的最先進的工具。該濺射系統集成了最新的高能均勻濺射技術，是研究和工業應用的理想選擇。SMD-450配有兩個陰極，能夠同時在樣品上沈積兩個獨立的層。它具有兩級線性源結構，最大程度的離子轟擊，增加均勻性，減少離子通道。這個高級單元也可以配置任何目標材料，如金屬、氧化物、氮化物、半導體等。在傳統的磁控管和惰性氣體濺射中，底物溫度不受控制。這會在樣品的不同部分上造成不同的薄膜厚度。ULVAC SMD-450具有先進的溫度控制基板支架,使用戶能夠將基板溫度控制在400 °C以下。這消除了熱漂移造成的不均勻性。SMD-450還具有緊湊的占地面積,旨在高效利用空間。它總共有四個艙室，最多可容納10個目標，而它的大容量目標端口使快速裝載操作成為可能。為了減少維護時間和成本,它配備了一個兩級閉環冷卻機來捕獲水和灰塵。這種濺射工具支持多種高精度的等離子體控制系統，提供均勻甚至濺射的輪廓。它還對占空比、壓力、氣流等參數提供了高度的工藝控制。這種工具可以處理各種樣品和基板，包括形狀不規則的物品和截面，以及小規模的裝置和結構。先進的ULVAC SMD-450濺射資產可提供無與倫比的控制、可靠性、統一性和工作效率。它是在多種底物和樣品上生產薄膜層的理想選擇。