二手 ULVAC SMD-450 #9411767 待售
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ULVAC SMD-450是一種用於將薄膜沈積到各種基板上的濺射設備。它是一個具有多個濺射源和材料的先進系統，非常適合制造光學或電氣結構和設備等應用。SMD-450是一種單室雙磁控管濺射裝置，按小尺寸規格制造，但包含高效和有效濺射所需的所有部件。該機利用大型磁控管線圈，與廣譜的靶材一起，產生強大的氙離子通量，允許生產附著力極好的高純度薄膜。ULVAC SMD-450可以容納直徑不超過200毫米的基材和任何厚度和材料的基材,包括塑料、陶瓷、玻璃和金屬箔。它在7.5x 10-5 Torr的最大工作壓力下運行，可以達到高達1000 ℃的基材溫度。濺射源包含兩個獨立密封的陰極，每個陰極都有自己的磁控管線圈。第一種來源用於透明導電氧化物（TCOs）和其他濺射材料，第二種來源用於不銹鋼、鋁、鈷等金屬層。總輸出功率可達2.5 kW，允許快速高效的沈積。此外，SMD-450的室內環境可以用原位大氣測試儀精確控制。這使得該工具適合在低溫蒸發和氧化條件下沈積各層材料，從而對薄膜質量進行更大的控制。資產還提供了廣泛的過程特征，以加強沈積過程。這些特征包括可調摻雜、定向脈沖沈積和多步沈積。此外，自動化的過程控制使沈積變得容易和準確，提供了高重復性和一致的薄膜沈積。總之，ULVAC SMD-450濺射模型是各種基板上高速清潔均勻沈積薄膜的理想解決方案。該設備提供了對薄膜參數的精確控制，同時還使各種不同的材料能夠被濺射。該系統是光學、電子和自動化領域各種應用的寶貴工具。
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