二手 ULVAC SMD-450 #9412542 待售
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ULVAC SMD-450是一種用途廣泛、功能強大的工業濺射系統。利用超高真空技術將各種材料的薄膜沈積在形狀和尺寸各異的物品上。該系統能夠沈積金屬、氧化物、氮化物和非晶矽等多種材料。因此，它對光電、微結構和納米技術等領域的研究很有用。機器由兩個基本部分組成；腔室和排氣裝置。腔室部分包括采樣加熱/冷卻後蓋、250毫米前蓋、真空通風閥、氣體入口/出口和真空泵管路。加工室由一個疏散的不銹鋼圓筒組成。該腔室在壓力和溫度方面提供高度均勻性，促進均勻濺射。腔室能夠接受直徑可達200毫米、厚度可達50毫米的樣品。排氣單元由負載鎖定系統、真空泵、排氣管和可變磁場組成。它允許在真空和大氣環境之間快速的物質轉移，而不會損害主室內的大氣層。負載鎖定能夠快速高效地交換樣本。真空泵負責在腔室中提供高度真空，並在整個過程中保持。可變磁場允許操縱目標離子束的入射角，從而控制濺射膜的均勻性。此外，SMD-450還配備了目標電源、射頻匹配網絡、射頻發電機和高壓電源。目標電源將直流電源應用於目標材料,允許量身定制的濺射沈積。射頻匹配網絡在目標材料和等離子體之間提供阻抗匹配。射頻發生器產生的高頻功率使氣體分子通電，導致一個自我維持的等離子體放電。最後，高壓電源負責產生施加在基板上的偏壓，從而控制膜的厚度和均勻性。ULVAC SMD-450旨在為工業應用提供一致和可靠的濺射沈積。高效，是材料工程和納米技術研究的理想選擇。
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