二手 ULVAC SMD-450B #9212812 待售

ULVAC SMD-450B是用於半導體和電子工業薄膜沈積的先進濺射設備。該系統采用多沈積/加工室，設計用於薄膜沈積在從陶瓷到金屬和玻璃基板的各種基板材料上。SMD-450B具有集成的多管磁控管濺射裝置，最多可使用八個磁控管濺射源。元素純濺射材料可通過本機應用於基板，實現精密高效的薄膜塗層。濺射源能夠處理種類最多的材料，包括稀土元素、貴金屬和復合金屬。該工具還具有氣體輸送資產，用於向沈積室輸送反應性氣體。這使得氧化物、氮化物和其他類似薄膜得以生長。ULVAC SMD-450B利用能夠達到低至3x10-3 Pa的壓力的真空室,以確保均勻光滑的塗層過程。它還具有一個具有直觀用戶界面的控制器，允許過程參數跟蹤和自動配方控制。該型號配備了一個裝卸站，允許安裝、服務和維護基板而無需打破真空。它還包括一個Automation Ready選項,與ULVAC Smart Factory Suite兼容,允許批量生產。這使設備能夠與其他組件共享數據並由單個接口進行管理,從而可以輕松地將多個ULVAC設備集成到單個工作流中。總體而言，SMD-450B濺射設備是多層薄膜沈積的有力工具。它結合了精確的濺射源、精密的氣體輸送系統、低壓真空室以及直觀的用戶界面，使其成為精密高效塗膜的絕佳選擇。