二手 ULVAC SMD-450SP #9301075 待售
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ULVAC SMD-450SP是一種用於高精度薄膜沈積的濺射設備。濺射(sputtering)是一種物理氣相沈積(PVD)過程,利用物理力從目標材料中噴射出原子,並將其沈積到基板上。SMD-450SP是一個小巧,易於操作,用戶友好的系統,支持三個濺射源-兩個磁控管和一個陰極。它具有高度可靠的過程管理和監視功能,包括遠程管理和測量功能。ULVAC SMD-450SP設計有磁控管濺射源,使用高達3,000 W的直流或脈沖直流電源,使得金屬、氧化物和氮化物薄膜的目標材料有大量的選擇。該單元還裝有獨立的陰極濺射源,支持需要低溫基板的反應性濺射過程和過程。這臺機器的其他功能包括更高的安全性、改進的吞吐量和多源並行處理能力。SMD-450SP濺射工具具有出色的過程控制選項,包括精確且可重復的過程序列生成、監視濺射條件的能力以及過程狀態和警報通知。它是一個將每批功耗和時間消耗降至最低的一步過程,非常適合中小型生產運行。其典型的過程可重復性和可控性確保了產品的一致性和高質量。ULVAC SMD-450SP還提供出色的安全功能。其設計采用空氣絕緣外殼,提供高水平的EMI免疫力和防塵防煙。它還符合國際電工委員會的要求和認證,以符合最新的安全和合規標準。SMD-450SP濺射資產直觀且用戶友好,易於安裝、操作和維護。該型號配備了易於使用的圖形用戶界面和直觀的流程監視器,方便用戶監控流程,調整參數,保持操作平穩運行。ULVAC SMD-450SP濺射設備是一種出色的濺射系統,其設計可提供高精度的薄膜沈積和出色的工藝控制。其直觀的設計、可靠性、安全性和工藝重復性使其成為薄膜沈積應用的理想選擇。
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