二手 ULVAC SMD-750 #293661856 待售
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ULVAC SMD-750是日本薄膜沈積系統制造商ULVAC, Inc.制造的頂級濺射設備。該系統配有高精度的可轉動炮塔,可以精確定位和瞄準濺射目標,以創造所需的薄膜厚度和地形。ULVAC SMD 750是一種中型濺射裝置,非常適合MEMS、半導體和光學元件等多種應用。SMD-750機器配備了兩個獨立的離子源,允許混合濺射和離子植入應用。采用7 kVA電源,SMD 750提供高性能濺射和離子註入,並具有將不同材料精確沈積到一系列基材上的能力。此外,ULVAC SMD-750采用高精度自動臂定位器,方便可靠地在濺射室中放置樣品和目標。ULVAC SMD 750提供了豐富的過程控制功能,包括可調節的頻率電源、獨立的氣流控制、用於原位監測薄膜生長的高精度傳感器,以及確保精確和可重現的濺射和離子植入過程的綜合閉環控制工具。另外,濺射室內的溫度由傳感器仔細監控,允許在濺射操作期間進行精確的溫度控制。SMD-750資產旨在滿足半導體行業以及其他相關行業嚴格的安全和環境標準。為確保環境安全,該模型符合國家食品安全管理局70E安全標準規定的嚴格標準。設備配備了排氣過濾、廢氣監測系統等先進安全裝置,確保操作環境安全。SMD 750是一種創新的濺射系統,設計用於薄膜元件的可靠生產。ULVAC SMD-750采用一整套最先進的控制,旨在釋放最高級別的可重復和可重復的濺射性能。ULVAC SMD 750的強大功能加上其先進的工藝控制,使其成為內存、汽車或任何其他行業中任何類型的濺射相關應用程序的理想選擇。
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