二手 ULVAC SMD-750 #9213455 待售

ULVAC SMD-750濺射設備是一種通用、用戶友好的濺射系統，用於將薄膜沈積在各種類型的基板上。它旨在為半導體器件、平板顯示器、光電等廣泛應用提供最優質的薄膜。該單元由真空室、加工室和控制機組成。真空室設有自動粗加工和微調真空工藝。這是用來達到5 x 10-8 Pa的預定基壓，這是最佳膜沈積所必需的。對控制工具進行了編程，以監測和調節工作室內的壓力，以達到最佳的薄膜沈積。該工藝室采用不銹鋼塗層表面建造，以確保清潔環境，使材料最佳濺射。該室最多裝有八個獨立的濺射源，允許同時沈積多個目標和材料。ULVAC SMD 750能夠處理廣泛的目標材料，如金屬、介電、陶瓷和半導體，以及材料的組合。SMD-750具有閉環過程控制資產,可精確控制基板位置、氣流和溫度。這保證了薄膜厚度和組成均勻。該模型還采用了一種自動防腐設備，為長期生產保持最佳工藝參數。SMD 750是一種可靠、用途廣泛的濺射系統，可用於沈積厚度和組成均勻的金屬、介電、陶瓷和半導體材料薄膜。該機組配備了自動粗加工和微調真空工藝以及用於精確控制基板定位、氣流和溫度的閉環過程控制機。該工具的防腐資產確保了長期運行，使其成為各種薄膜沈積應用的理想選擇。