二手 ULVAC SMD-850BX #9285746 待售

ULVAC SMD-850BX Sputtering Equipment是一種多功能、高性能的系統,旨在為金屬、合金、介電和陶瓷材料的薄膜提供均勻光滑的濺射沈積。該裝置利用真空室和各種等離子體誘導的過程將薄膜沈積到運動的基板上。SMD-850BX利用行星基板支架，提供定制的濺射目標或圓形磁控管裝置，將材料從目標表面濺射到基板上。它旨在實現高精度和可重復的過程，通過ULVAC創新的等離子體控制技術提供可靠和均勻的沈積。該機配備了高性能離子源，以實現離子輔助蝕刻和清潔過程，還擁有先進的氣體控制技術，在各種處理過程中保持所需的等離子體化學狀態。ULVAC SMD-850BX提供各種尺寸和形狀的工件供其行星基板持有者處理，其設計能夠實現穩定沈積和蝕刻。該濺射裝置采用先進的四軸電磁運動控制工具，提供精確均勻的濺射沈積，同時提供精確的溫度控制。SMD-850BX模型通過內置控制器提供強大的均勻性控制,以及前饋和反饋控制。此外，設備的基板偏置電壓供應允許在沈積過程中對離子註入進行精確控制。ULVAC SMD-850BX還提供先進的等離子體分析，對濺射過程進行徹底和實時的監測，並提供整合多個過程室的能力。這種濺射系統可以容納各種各樣的氣體和種類的材料，可以選擇多種配置來滿足各種濺射需要。該裝置在1E-4 Pa至1E-6 Pa的真空範圍內運行，可用於金屬、合金、陶瓷和介電材料等材料的沈積。SMD-850BX是塗層玻璃薄膜、光學薄膜、太陽能電池、液晶顯示器、電路板以及各種其他產品和應用的理想濺射溶液。