二手 ULVAC SMD-850BX3 #9285784 待售

ULVAC SMD-850BX3濺射設備是通過用金屬、陶瓷、半導體、電介質等多種材料塗覆基板來創建薄膜層的先進方法。其高級功能包括超短脈沖直流（Direct Current）磁控管濺射源、開載關閉系統和可選的自動配方模式。該裝置具有較高的均勻性和沈積率，非常適合大批量生產各行業使用的薄膜層。SMD-850BX3的載荷容量可達直徑5英寸,厚度可達5英寸,真空溫度為5x10-6Pa,最高溫度為150 °C。該機利用兩個獨立的濺射源，使其能夠在一個基板上創建兩層不同的薄膜。它的其他特點包括多層沈積，能夠同時濺射兩種不同的材料，以及厚度或顆粒沒有變化的均勻沈積的薄膜層。ULVAC SMD-850BX3濺射工具配備了一個緊湊的渦輪分子泵，允許高速抽水快速疏散和高氣壓。它還提供了一種開放式負載關閉資產，當腔室壓力過低時自動關閉模型，防止由於不平衡壓力造成損壞。此外，該設備還具有可選的自動配方模式，可以對其進行編程，以自動設置特定沈積過程所需的條件。SMD-850BX3是一個可靠和經濟高效的濺射系統，為廣泛的應用提供了極好的均勻性和沈積率。其直觀的操作單元使用方便，既適合小規模實驗室，又適合工業生產。此外,其先進的特性和功能確保基板始終塗有適當的材料,從而提供一致的薄膜層。