二手 ULVAC SME-200 #293637655 待售

ULVAC SME-200濺射設備設計用於將金屬薄膜或其他材料沈積到基板上。該濺射系統利用磁控管濺射技術，利用不平衡電壓使目標材料的帶電粒子高速轟擊基板。這種轟擊使材料汽化，然後以薄膜的形式沈積在基板上。ULVAC SME 200濺射裝置具有較高的沈積速率、優異的均勻性和較高的階梯覆蓋範圍。它能夠處理2"、3"或4"晶片，以及其他不同尺寸、形狀和溫度的基板。該機還支持多種目標材料，使其能夠沈積多種由各種材料制成的薄膜。此外，它還可以被編程成具有可選厚度和面積的塗層，從而實現高水平的均勻性。SME-200具有一個單一的負載鎖密室和一個單獨的抽水工具，這使得資產能夠很容易地將層沈積到各種基板上，且交叉汙染最小。此外，內置供氣室使各種氣體組合物能夠用於最佳的膜沈積。此外,兩個外部6英寸高泵浦交流驅動磁控管允許此模型沈積多層薄膜,如屏障層和其他需要特殊特性和特性的層。該設備非常適合各種應用，包括表面塗層和先進的薄膜開發。其高功率、先進的控制和監控系統以及精確的沈積能力，使得中小企業200成為工業、研發環境的絕佳選擇。此外,它還得到ULVAC質量支持和專業知識的支持,使其成為那些希望沈積精確高度和均勻性的薄膜的人的絕佳選擇。