二手 ULVAC SME-200 #293758509 待售

ULVAC SME-200是一種多功能、緊湊的濺射設備,非常適合生產均勻性最高、缺陷樣品少、材料成本低的薄膜塗層。該系統采用精密工程腔室設計，具有均勻的濺射速率和最大的產量，能夠生產高質量的多層薄膜塗層。ULVAC SME 200濺射裝置包括四個獨立的隔間：一個真空預室、一個高真空室、一個濺射室和一個基板支架。真空預室設計用於在沈積過程開始之前快速撤離機器。高真空室將基材通向濺射室，產生近乎完美的真空。濺射室由高可靠性的交流和直流偏置磁體組成，產生低強度等離子體，並將高真空離子引導到基板上。基板支架可精確控制基板材料的精確位置和方向。SME-200配備雙數字質量流控制器（MFC），用於目標原子分數、壓力和過程時間的精確控制。這種濺射工具提供了多種塗層選擇，包括金屬、金屬化合物、絕緣體和陶瓷材料。SME 200采用緊湊的設計,可快速集成到任何工業應用中,提供均勻的塗層,可調整至一定範圍的薄膜厚度（低至0.1nm）,窗口尺寸為12英寸。此外,可恢復的控制器內存和嵌入式流程監控功能允許操作員快速重置和監控資產流程。ULVAC SME-200是一種低成本濺射模型,它提供了出色的均勻性和具有高可靠性和一系列工藝控制選項的纖薄塗層,非常適合各種工業濺射應用。這種濺射設備還得到了ULVAC可靠服務的支持,提供全天候在線技術支持,並可以訪問ULVAC認證的安裝和維護技術人員。ULVAC SME 200濺射系統采用多合一設計和量身定制的工程設計,為高質量的薄膜生產提供了可靠、經濟的工藝。