二手 ULVAC SME-200 #9156855 待售

ULVAC SME-200是一種磁控管濺射設備。它是用於將特定材料的薄膜沈積到表面上的先進系統。它是一個自動化單元，允許可重復薄膜沈積，具有可調參數，允許廣泛的沈積質量和薄膜特性。ULVAC SME 200機器由一個低真空室、兩個獨立的濺射源、一個電子束源、一個射頻塗層和一個旋轉目標源組成。利用適用的源，室內的基板暴露於濺射目標的電離氣體粒子、電子或射頻波。來自這些源的離子、電子或射頻波撞擊，並將分子從靶上移出，然後附著在底物上，形成所需的薄膜。SME-200工具可以處理兩種不同尺寸的基板，從而提高生產效率。兩個濺射源的功率預算均為2kW，並配備了聚焦磁控管，以實現更高的精度和濺射深度和均勻性的重復性。基板支架可以支撐具有各種尺寸/類型的基板的單面和雙面晶片，包括玻璃、石英、矽、鋁和金屬。該室還具有可變壓力資產、渦輪泵和冷凍泵，允許控制大氣和真空水平進行沈積，從而可以更精確地控制沈積過程。SME 200配備了眾多型號傳感器，能夠實時監測所有工藝參數和氣流。設備的軟件允許在沈積過程中對所有參數進行遠程操作,並允許對沈積過程進行完全控制。由於該系統的先進設計和可調參數，該裝置可用於存放各種不同材料和性能的薄膜，使其成為一種非常通用的濺射機，適用於各種應用。