二手 ULVAC SME-200 #9293517 待售

ULVAC SME-200濺射設備設計用於高性能薄膜沈積應用,具有業界領先的低擁有成本。它提供了低真空、快速濺射的過程，具有出色的均勻性、重復性和可控性。ULVAC SME 200配備了兩個獨立的目標持有者，其中一個是帶有PBN（熱解氮化硼）電介質的濺射目標。這使系統能夠同時沈積金屬膜和介電膜。電介質具有極低的濺射產率，最大程度地降低了將顆粒濺射到先前薄膜層上的風險。此外，這兩個目標可以同時用於在單個操作中沈積金屬和電介質，或者交替用於增加沈積速度。SME-200還設有一個鎖載室和一個加熱的基板支架，最多可容納四個4英寸晶圓樣品。這允許在真空下快速裝卸樣品。加熱器的溫度範圍為0°C至400°C,非常適合晶圓的熱處理。該裝置具有較高的沈積速率和可重復配方沈積過程控制能力。它還配備了一個QMS-200（質量監測機），自動監控目標條件，並提供數據記錄和質量控制功能。SME 200是一種功能強大的濺射工具，可以處理從保護層、屏障層到平面化層的廣泛應用。ULVAC還提供了SME系列中的一些其他濺射資產模型，以滿足各種濺射要求。