二手 ULVAC SME-200E #9204276 待售
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ID: 9204276
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8"
Included:
(2) Chambers
6" Tray & jig
High temperature deposition: Maximum 700° C
(2) Targets.
ULVAC SME-200E是一種濺射設備,用於將材料的薄膜層沈積到基板上。該濺射系統采用三磁控管設計,提高了沈積精度和厚度均勻的薄膜沈積。它允許精確調整功率水平,並有一個獨立的監控單元來確認濺射過程的有效性。控制器設計簡單直觀,可以方便地針對不同的濺射沈積模式進行編程。這種濺射機具有獨特的減壓控制工具,允許均勻的壓力和優良的等離子生成條件。減壓控制資產還保證了濺射過程的均勻性,減少了濺射過程的變化,提高了膜的均勻性。SME-200E允許以各種組合的形式沈積薄膜,包括單個或多個元素,從而使用戶能夠獲得高度復雜的薄膜結構。ULVAC SME-200E有一個真空室,旨在最大限度地減少汙染並提供清潔的生產環境。這種濺射模型具有較大的沈積面積,允許材料在大面積上均勻沈積,是沈積大面積薄膜的理想選擇。它采用單室設計,在濺射腔和泵腔之間配有閘閥。這不僅減少了汙染,而且確保了穩定的濺射壓力和清潔的生產環境。SME-200E具有觸摸屏功能的用戶友好操作。它還具有對沈積過程進行實時監測和分析的功能,從而能夠更好地管理和控制沈積過程。它有短短2分鐘的快速恢復時間來恢復之前的濺射過程,其真空泵設備設計為可靠高效的操作。總體而言,ULVAC SME-200E是一種可靠、高效的濺射系統,用於沈積高質量、均勻性很高的薄膜。它具有用戶友好的操作單元和各種濺射特性,是各種應用中精密薄膜沈積的理想選擇。SME-200E設計可靠,操作方便,功能齊全,是將薄膜層濺射到各種基板上的絕佳選擇。
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