二手 ULVAC SME-200E #9359649 待售

ULVAC SME-200E
製造商
ULVAC
模型
SME-200E
ID: 9359649
Sputtering system AIN-VO2.
ULVAC SME-200E是一種非常先進的濺射沈積設備,它為屏障/封裝和光學塗層等用途提供高質量和均勻的薄膜沈積。它配備了磁性濾波器,確保顆粒和碎屑的消除,以確保最佳的表面條件。該裝置采用DC/RF磁控管濺射技術進行薄膜沈積,並配有等離子體源和基板電炬,以實現最大的濺射效率。SME-200E有一個腔室,包括兩個SM-II磁性屏蔽和一個圓形石英管。這種設計保證了優質薄膜和均勻分布的底片。ULVAC SME-200E提供了針對最佳濺射條件的自動電源優化、具有報警故障診斷功能的自我診斷系統以及針對過熱或過壓條件的保護。該機組還配備了用於高級真空水平和壓力控制的級真空機,配有真空控制器和手動閥門,以保證濺射沈積的穩定真空環境。此外,SME-200E還配備了一種運動控制工具,可提供快速、精確的步進和重復運動,以及與外部組件配合使用的集成電氣連接。ULVAC SME-200E能夠沈積所有金屬的層,包括鈦、鉻、鋁、鎳、銅、鎢和金,以及氧化銨錫(ITO)、金剛石樣碳(DLC)和Ta2O5。該資產還允許有機分子的溫度依賴性蒸發。SME-200E具有各種保護功能和安全系統,以防止損壞設備及其用戶。應遵守使用特殊氣體的所有必要的安全和健康準則,以確保安全運行。總之,ULVAC SME-200E是一種先進的薄膜沈積濺射模型,為各類基材上的各種材料提供了可靠、均勻的沈積。它的磁濾波器和其他安全功能確保了安全高效的操作,而其運動控制設備、真空系統和自動功率優化有助於加快基板的加工速度。SME-200E具有廣泛的應用範圍和先進的特點,是薄膜沈積的一個非常值得推薦的工具。
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