二手 ULVAC SME-200E #9379717 待售

ULVAC SME-200E是一種用於薄膜沈積的濺射設備，用於各種應用，包括半導體加工。它利用擴展的磁增強濺射（EME），一種將電磁與濺射相結合的方法，在剛性和柔性基板上制造塗層膜。濺射塗層系統具有先進的沈積均勻性和精確度，可用於優質薄膜的生產。SME-200E具有可靠的向下射流線性目標配置。這允許精確的目標操作與三維蝕刻和能力濺射在高真空。該單元包括一個東西旋轉平面，允許易於維護和改進與廣泛的基板的兼容性。其閉環控制機為直徑達200毫米的薄膜提供非常穩定和均勻的濺射。該工具還包括用於非接觸基板操作和傳輸的自動加載、自動卸載資產。這樣可以確保精確定位,並具有優異的生產產量。ULVAC SME-200E既包括雙軸旋轉階段,以提高沈積均勻性,也包括旋轉炮塔淋浴模型,以實現快速、簡單的目標材料交換。新創建的沈積室保持目標和基板條件，使調試與任何類型的塗層材料。這種獨特的濺射設備還具有ULVAC專用的Pay-Anime軟件，用於過程操作、沈積控制和配方編程。該軟件提供配方編輯、監控和分析工具，使高效、可重復的操作具有卓越的塗層均勻性。用戶友好的界面確保了較高的工作效率,並減少了維護和調整的停機時間。SME-200E濺射系統是為生產優質薄膜而設計的。其卓越的技術和先進的特點確保了各種塗層可重復、均勻和精確的沈積半導體器件。