二手 ULVAC SME-200E #9392582 待售

ULVAC SME-200E是為先進的工業和研究應用而設計的高性能濺射設備。它具有可旋轉、可調的濺射源和基板支架，使用戶能夠靈活地實現廣泛的沈積和表面處理過程。SME-200E能夠為任何薄膜厚度提供清潔、均勻和高的沈積速率。ULVAC SME-200E配置了最先進的磁控管濺射源。磁控管濺射源的功率可以在0-1000瓦之間變化，允許廣泛的目標和薄膜厚度。基板支架可調，可容納直徑不超過12英寸，厚度不超過0.008至0.125英寸的基板。這允許各種應用,例如平板顯示器、LSI和MEMS設備、磁光盤、超導薄膜和光學薄膜。SME-200E通過一系列控制系統提供對濺射過程的高精度控制。內部控制器允許用戶控制電極、濺射功率、旋轉速度和薄膜厚度。ULVAC SME-200E先進的控制系統也允許沈積不同成分的復雜薄膜。該單元配備了光學高溫計，允許用戶監控基板支架的溫度。SME-200E采用靜電屏蔽裝置和集成氣體分配裝置，可在超高真空和大氣壓力等多種環境中沈積薄膜。另外，ULVAC SME-200E可以連接到外部設備，用於測量室內氣體的濃度，如氙氣、氧氣和氮氣。SME-200E的設計旨在確保可靠性和可重復性,使其成為各種生產和研究過程的理想選擇。該工具能夠提供均勻的薄膜，具有較少的缺陷和較高的屈服率。此外,資產的模塊化設計使模型易於擴展、升級和服務,從而確保了更大的靈活性和成本效益。