二手 ULVAC SME-200J #293597222 待售

ULVAC SME-200J是一種頂級濺射設備，設計用於半導體、微型電子、硬盤介質和組件、光電子和光學設備等行業。它是一個自動濺射系統，具有先進的沈積室、高效的鎖載室和精確的控制。ULVAC SME 200 J具有有效的矩形形狀沈積室，可實現顆粒均勻分布，提高材料沈積精度。因此，零件沈積良好，薄膜厚度一致且可重復。內部還具有較高的清潔度，可最大程度地減少汙染，並有助於產生具有精確氣相沈積的部件。SME-200J的集成鎖載室快速、精確地裝卸零件（6 「× 6」或8 「× 8」）。腔室有一個可調的壓力，最多可達五個臺階，使零件的裝卸能夠順暢精確。此外，密室是氣密的，防止汙染和不需要的微粒。SME 200 J具有提高流程穩定性的精確控制功能，包括閉環反饋控制和屏幕菜單驅動編程。這也允許在150 Å-3500Å範圍內精確控制沈積膜的厚度,精度為1Å。還可以對沈積參數進行自動化和軟分割編程，進一步提高可編程的復雜性。此外，ULVAC SME-200J有各種安全裝置，確保人員和設備的安全。該機組配有壓力傳感器、異常操作應急防護裝置、加固真空蓋、真空前通風門。這提供了高水平的操作員保護，並允許無縫、安全的操作，即使在惡劣的環境中也是如此。總體而言，ULVAC SME 200 J是一款多合一濺射機，旨在滿足半導體、微電子、硬盤介質和組件、光電子、光學器件等行業最苛刻的應用。它具有高精度的沈積室和高效的鎖載室，具有精確的控制特點，保證了高材料沈積精度，膜厚一致且可重復，操作安全。