二手 ULVAC SME-200J #293609370 待售

ULVAC SME-200J是一種垂直對齊的濺射設備，廣泛應用於薄膜塗層應用。它由三個主要部件組成：真空室、旋轉濺射頭和電源。腔室通常由不銹鋼組成，包括泵送口、加工氣體和沈積閥。該室還有一個疏散過程，以消除表面汙染。旋轉的濺射頭包含一個或多個陰極，這些陰極由電源供電，在腔室中產生離子。濺射頭為薄膜沈積到基板上提供動量。這個系統還包含一個可調節的氣體壓力調節器和一個過程氣體閥，在濺射過程中可以用來調節等離子體大氣。該單元由交流電（AC）供電，應用於陰極。當陰極移動時，它們以受控的空間模式產生電場。該電場給予基板電荷，從而導致薄膜沈積到基板上。此過程稱為濺射。濺射頭內的濺射源還負責確保薄膜均勻沈積在基板上。它將組分材料和載氣噴灑到基板上，在基板上組分沈積在偶數層中。濺射源也可以用來改變薄膜的厚度，通過噴灑不同形狀和大小的載氣。通過控制諸如濺射電壓、功率、沈積壓力和反應性氣流等過程變量，薄膜能夠達到特定應用所需的性能。ULVAC SME 200 J機是薄膜塗層應用的可靠且經濟高效的解決方案。其特點使其非常適合各種工業應用，包括汽車、光學和醫療器械塗層。濺射工具的高效設計和控制變量的能力使其成為沈積薄膜制造具有任何應用所需特性的元件的絕佳選擇。