二手 ULVAC SME-200J #9266438 待售

ULVAC SME-200J濺射設備是為薄膜沈積中的各種金屬化過程而設計的通用系統。它由一個射頻電源組成，以產生濺射等離子體，以及一個容納該過程的腔室。該裝置可以處理各種各樣的目標和氣體，提供廣泛的濺射技術。ULVAC SME 200 J濺射室采用平面磁控管，兩組磁體垂直於目標排列，允許控制等離子體密度。這臺機器還能夠旋轉磁體，以優化濺射材料的均勻性。該腔室包括兩個40厘米的目標，一個目標進給，一個氣體進給，和一個真空端口，用於疏散腔室。另外還有一項減少汙染風險的特別通風安排。為控制濺射過程，該工具配有可編程接口。運算符可以設置過程參數和操作順序。可以設置和監測目標電流、壓力、氣體控制和等離子體條件等參數。這個界面還允許儲存配方和監測等離子體測量。SME-200J用均勻塗層處理大面積的基板。它具有緊急停止、溫度監視器和安全資產。它與多種類型的基材兼容，包括鋁、不銹鋼、石英和塑料。濺射模型是液晶屏和太陽能電池生產等薄膜沈積工藝的理想選擇。SME 200 J濺射裝置是一種功能強大、用途廣泛的薄膜沈積裝置。ULVAC SME-200J參數可調，濺射面積大，濺射技術廣泛，是許多薄膜工藝的有效工具。