二手 ULVAC SME-200J #9357605 待售

ULVAC SME-200J是ULVAC Technologies, Inc制造的濺射設備。它設計用於通用材料濺射和薄膜沈積、粘附、電極制造等應用。ULVAC SME 200 J是一種自備式濺射系統，包括一個底櫃和一個目標架單元，並配有一個致動卡盤、多個樣本架、電源蓋、排氣機和濺射源（最多八把濺射槍）。SME-200J的設計使得多個電源具有不同功率設置的同時運行，使其適用於MOS（金屬氧化物半導體）沈積、薄膜沈積和電極制造等工藝。沈積率可以根據預期的應用輕松調整。目標材料為鋁、銅、金、鈦、鎳、碳等。根據目標材料的不同，濺射氣體會相應地從氙氣、氮氣、氫氣或氧氣中選擇。提供了一種負載鎖定機制,以最大程度地減少在濺射過程之間進行樣本切換所需的時間。SME 200 J還設有控制器，允許用戶輕松設置和維護濺射參數，包括電流密度、腔室壓力、功率和氣流。此外,刀具監視器屏幕還會顯示過程條件,如溫度、壓力、腔室狀態和總濺射時間。ULVAC SME-200J濺射資產是許多薄膜沈積應用的通用工具。它非常可靠，便於操作和調整工藝參數。該模型還使多個源能夠同時運行，確保所需的濺射輸出得到快速、安全的實現。