二手 ULVAC SME-200LDM #9055124 待售

ULVAC SME-200LDM是為滿足各種工業塗層需求而設計的最先進的濺射設備。它提供了出色的層狀沈積均勻性，以及對工藝參數的控制，同時具有較高的沈積速率能力。該系統配備了先進的多口袋濺射目標組件，具有高達十二個直徑80毫米的圓形目標，能夠提供均勻精確的薄膜沈積。多口袋布置允許操作員利用不同的濺射目標或將目標移動到沈積過程中的不同位置。SME-200LDM有一個真空室，基板和目標之間有150毫米的間隙。這使得大的濺射區域和高沈積速率，與覆蓋基板的能力，高達330毫米直徑。配備高效無油渦旋式直驅機械泵，提供快速疏散，最大限度減少停機時間。此外，該機組還與外部真空泵兼容，進一步提高性能。為了保證最高水平的均勻性，ULVAC SME-200LDM配備了動態聚酯薄膜掃描儀，補償基板曲率和基板與目標之間的波動間隙。該機還具有動態快門組件，以便快速實現高質量的塗層。快門組件可以移動,以保持均勻的沈積速率,而不考慮基板形狀或幾何形狀的變化。SME-200LDM還配備了獨特的進程窗口控制器（PWC）。PWC是一個軟件包，利用沈積速率、薄膜厚度和表面拓撲的實時分析，以優化整個濺射過程，提高吞吐量和質量。最後,該工具配置了一個控制器面板,允許對整個過程進行控制和監控。所有資產參數都可以根據用戶需要輕松設置、監控和調整。這使得濺射模型極具彈性，並使使用者能快速作出調整，以達到他們所期望的沈積輪廓。總體而言，ULVAC SME-200LDM是一種先進的濺射設備，能夠提供出色、均勻和受控的區域覆蓋，以及高沈積率。它的多功能性和廣泛的特點使它成為一個理想的選擇，以滿足各種塗層的需求。