二手 ULVAC SME-200U #9107279 待售

ULVAC SME-200U是一種設計用於薄膜工程的高性能濺射設備。該系統具有兩個獨立電源,每個電源都有一個集成控制器,可提供高達200 W的組合功率,最大直流電流為400 mA。這允許以各種厚度和沈積速率沈積各種材料，包括貴金屬、電介質、陶瓷和半導體材料。ULVAC SME 200 U采用4點磁控管濺射槍配置，實現了卓越的材料利用率和增強的工藝一致性。4點源設計進一步促進了多個目標的整合，以及在同一循環中沈積不同材料層的能力。該裝置還擁有一個專門設計的鐘形罐室，可在高壓和高溫下提高性能。該單元設計用於超高真空（UHV）處理，包括粗加工泵、多級前線陷阱、氣體凈化機、先進控制工具等其他功能。該資產允許廣泛應用濺射。雙電源使材料能夠以各種模式沈積，如短、寬或窄。該模型的靈活性還允許平面和旋轉濺射過程，如大型旋轉目標表面和金屬支架的沈積。此外，隨著兩種基板的利用，多目標能力允許頂層和底層在一次旋轉中同時應用。SME-200U還具有用於反應性濺射的三氣操作能力,使用戶可以輕松地將這種模式集成到他們的過程中,而無需額外的氣體歧管。設備包括內置真空診斷，以及加強安全性的脫泵電弧檢測系統。最後，可編程自動化單元為機器增加了可靠性和可重復性，使其成為大容量操作的理想選擇。總體而言，SME 200 U為薄膜的沈積提供了一個堅固可靠的濺射平臺。它的雙電源和靈活的配置允許以更高的精度和可重復性執行各種過程,使其成為各種行業中的寶貴工具。