二手 ULVAC SMR-2110E #9078345 待售

ULVAC SMR-2110E是一種高性能濺射設備，設計用於各種行業。其靈活的配置和高精度的制造在學術和工業研究方面都提供了卓越的性能和可靠性。SMR-2110E是一種多基板濺射沈積系統，可支撐鋁、合金材料、陶瓷電介質和氧化物等多達十種目標材料。利用高頻磁控管和快速氣流裝置，提供了較好的均勻性和較高的沈積速率。它的模塊化能力允許簡單的維護和維修操作。ULVAC SMR-2110E裝有Al 2 O 3/SiO 2目標隔離室，確保最大限度的樣品保護。基板支架設計為在濺射過程中提供極好的均勻性和最小的樣品漂移。它帶有一個直觀的編程軟件界面，簡化了復雜的多色和多層濺射編程過程。該機還具有先進的真空技術，允許低至2.5x10-6 Pa的底壓，它配備了離子清潔工具，提供了改進的顆粒去除，並產生了清潔的真空環境。可編程氣體註入和先進的數控氣體供應系統允許進行多種氣體處理。SMR-2110E具有高速沈積選項,可根據目標材料實現高達30微米/秒的薄膜沈積速率。它提供了出色的可重復性和過程控制,從而產生可靠和可重現的結果。使用外部電源或隨附的外部輸入功能可以微調濺射速率。總體而言,ULVAC SMR-2110E是一項出色的濺射資產,能夠服務於許多不同的應用程序。它的高精度制造、先進的真空技術和直觀的編程軟件允許可靠和精確的性能。可調的濺射速率、各種目標材料和出色的重復性使這種模型具有高度的通用性，適合許多不同的研究要求。