二手 ULVAC SPW-030S #9034013 待售

ULVAC SPW-030S是一種用於半導體和其他材料的高精度樣品制備的濺射設備。配備平面磁控管濺射源、雙平面快門、高真空室。該系統能夠處理高低濺射功率的應用，功率範圍在5-120 W之間。此外，SPW-030S還配備了先進的濺射源冷卻裝置，確保了高效的濺射過程和穩定的腔室循環。該機還配備了可靠的自動濺射功率控制和均勻濺射沈積速率。ULVAC SPW-030S的真空室裝有陶瓷渦輪泵，可實現高達1 x 10-6 Torr的真空。它還配備了一個原位入射角（AOI）視圖端口，允許用戶遠程準確地監控進程。此外，它還設有一個大型隧道窗口，為過程監控提供了充足的觀賞區域。SPW-030S濺射工具可以處理多種材料，包括金、銀、鋁、鈦和矽。它設計為以直流（DC）或射頻（RF）電源運行,可用於各種特定於應用程序的過程。此外，該資產還具有氣體輸送模式，允許用戶根據不同的工藝要求調整氣體流量和壓力。ULVAC SPW-030S濺射設備非常適合半導體等材料的精確樣品制備，具有高度的均勻性和效率。其易於讀取的控制系統，先進的冷卻特性，以及顯著的濺射穩定性，確保了一個可靠可靠的過程。總體而言，SPW-030S是一個先進和穩健的濺射單元，提供了對濺射過程的卓越控制。