二手 ULVAC SRH-420 #293821025 待售

ULVAC SRH-420是由半導體行業領先供應商ULVAC設計制造的濺射設備。其主要目的是將金屬或其他材料的薄層沈積在基板或半導體晶圓表面。SRH-420在一個系統中具有四個工藝室,提供高性能濺射,以滿足多種生產過程的需要。它配備了一個特殊的雙源目標驅動單元，允許用戶一次濺射兩種材料。此功能可加快整體處理速度,並改善膠片的均勻性。為了保證高質量的薄膜，ULVAC SRH-420提供了許多不同類型的濺射過程控制功能。它配備了獨一無二的偏置電壓控制機，穩定濺射區域，減少粒子的影響。此外，它還具有浮區工藝（亞壓濺射），以改善塗層過程中的均勻性和附著力。SRH-420還配有斜面膜，可提高基板的潤濕性，提高耐久性。ULVAC SRH-420的最大基板尺寸為8 「X 4」。該工具與多種基材兼容，如玻璃、矽、石英和一些金屬。資產使用兩個獨立的目標，使得在生產過程中可以使用多種材料。其濺射過程可以調整為以不同方式工作，如輝光放電、直流磁控管、順序濺射。SRH-420提供比其他類似系統更高的吞吐量和更高的處理精度。其獨特的高級過程控制功能和功能組合產生了提高產品可靠性的高質量薄膜。該模型還可靠、可靠,並提供出色的人體工程學。設計用於長時間連續運行，減少停機時間，提高產量。總體而言,ULVAC SRH-420是一種可靠的、功能齊全的濺射設備,具有出色的吞吐量和薄膜性能。該系統具有多種工藝控制功能，能夠為各種基材生產高質量的薄膜。對於那些需要從濺射系統中獲得最高性能的人來說,這是最終的選擇。