二手 ULVAC SRH-420 #293830631 待售

ULVAC SRH-420濺射設備是一種通用、高效的工具，用於制造薄膜，特別是用於制造半導體器件。該系統采用五軸機器人運動單元，6英寸直列集成真空室結構。該機包括0-15°的可手動調節角高度調整和濺射目標的精確瞄準。SRH-420的其他好處包括占用空間更小,從而提高吞吐量並改善工作流程。該工具的核心是高性能射頻（射頻）源，它是一個單頻源，運行到4kW，提供一致和統一的輸出。射頻電源能夠通過直接接觸以及非接觸感應耦合被施加到濺射目標上，這使得濺射介電膜成為可能。此外，該資產能夠同時沈積多達四種材料，從而能夠生產多層和多組分薄膜。ULVAC SRH-420通過板載圖形用戶界面操作，允許用戶進行各種過程，如抽水、濺射清洗、基板裝卸和基板監控。它還能夠存儲配方以及生成詳細的流程報告以及實時流程數據。它與多種工藝氣體相容，例如氫、氙、氮、氧等惰性氣體。SRH-420濺射模型旨在提供最優質的薄膜，可用於平板顯示器、半導體器件、MEMS和其他薄膜技術等多種行業。該設備用途廣泛,用戶友好,是尋求可靠且經濟高效的薄膜沈積解決方案的公司的理想選擇。