二手 ULVAC SRH-420 #9375715 待售

製造商
ULVAC
模型
SRH-420
ID: 9375715
優質的: 2012
Sputtering system 2012 vintage.
ULVAC SRH-420是一種功能強大且可靠的濺射設備,專為從薄膜沈積到表面改性等多種應用而設計。這款車型采用一室設計,可輕松容納最多五個目標,最大目標尺寸為420毫米。高真空系統能夠承受3 Pa至5 Pa的壓力,為薄膜的可靠沈積提供了必要的環境。SRH-420配有增強壓力控制裝置,以確保最佳沈積參數。它能夠識別工藝條件何時發生變化和相應的補償,從而導致更快、更有效的沈積。此外,機器能夠保持一致的薄膜厚度,允許多層被沈積,而沒有任何明顯的差異塗層。該工具由三相直流磁控管電源供電,能夠在每個目標上提供高達1 kW的功率。這種強大的資產允許快速沈積速率和優秀的膜粘附到基材。通用氣流控制模型(UGC)能夠精確控制工藝大氣,允許真空和氣體輔助沈積。ULVAC SRH-420濺射設備的設計也考慮到了安全性。它配有強大的聯鎖裝置,如果參數與用戶的規格不匹配,系統將無法運行。此外,還配備了一個綜合安全監控單元,用於檢測操作中的某些錯誤並向用戶發出警報。這有助於降低發生重大操作錯誤的風險。總體而言,SRH-420濺射機是各種薄膜沈積和表面改性應用的強大而可靠的解決方案。它提供了一個單室設計,最大目標尺寸為420毫米,以及增強的壓力控制能力。它還提供強大的磁控管電源,在每個目標上提供高達1 kW的功率。它以安全為重點,並采用了全面的安全監測工具,以減少操作錯誤。
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