二手 ULVAC SRH-420 #9381707 待售

製造商
ULVAC
模型
SRH-420
ID: 9381707
Sputtering system.
ULVAC SRH-420是一種非常適合廣泛應用的單室濺射設備。它在其標準配置中使用現成的元件,如最大RF功率5000瓦的大功率4磁控管射頻源和最大基板尺寸16英寸的負載鎖室。SRH-420有一個石墨負載鎖定室,一個離子源,以加強膜粘附過程,和一個軟件為基礎的過程控制器,以便於設置和操作。該系統還附帶了基礎基板的選擇,如矽、玻璃、石英和各種陶瓷。這為各種真空濺射應用提供了多功能性和廣泛的覆蓋範圍。ULVAC SRH-420提供了一個高效的濺射過程,粒子密度保持在最佳水平。該裝置采用獨特的氣體控制模塊進行精確的過程控制。ULVAC氣體模塊設計為易於操作,具有準確可靠的控制面板。它提供「即時」氣體控制。SRH-420還提供了廣泛的濺射靶標,包括鋁、鎢和鈦氮化物。所有這些目標都可以被反應性濺射以進行工藝改進。為確保可靠和一致的結果,ULVAC SRH-420還包括多氣體控制機、溫度控制模塊、真空泵和水冷卻器。這提供了足夠的過程安全性,即使在波動的操作條件。各種診斷保持閉環過程控制。SRH-420是一種最先進的濺射資產,其獨特設計可滿足許多行業、應用程序和過程的高需求。總體而言,ULVAC SRH-420濺射模型是一種高效可靠的工具,可以在許多應用中實現最佳的薄膜沈積。它的大功率4磁控管射頻源能夠提供高達5000瓦的功率,從而改善濺射過程時間。它為高反應性濺射提供了廣泛的濺射目標,並具有多種氣體控制、溫度控制和水冷卻模塊,以維護過程安全。最後,SRH-420具有基於軟件的直觀功能和可輕松設置和操作的控制面板。
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