二手 ULVAC SRH-530 #9409839 待售

ULVAC SRH-530是ULVAC公司設計制造的濺射設備。該系統主要用於薄膜生產應用，采用高真空磁控管濺射工藝。濺射裝置由真空室和一套輸送和供應薄膜沈積材料的機制組成。真空室設計為在10-2至10-6 Pa的壓力下運行，配備旋轉泵、渦輪分子泵和渦輪分子增壓泵。該機還包括射頻電源、射頻匹配網絡、射頻等離子體源、濺射目標和穿梭機構。SRH-530提供了一個控制良好的磁控管濺射膜沈積過程。工具中使用的射頻電源為目標提供穩定的直流電壓和電流。射頻匹配網絡和等離子體源產生等離子體濺射目標材料。穿梭機構協助將目標轉移到資產中，使目標與基板對齊。該模型還為薄膜沈積過程提供了一個無汙染的環境。該設備在控制射頻功率水平、氣體流量和基板溫度等濺射工藝參數方面具有很高的精度。氣體流量主要由質量流控制器調節。基板溫度可以使用溫度控制器控制。該系統還具有強大的數據管理和過程控制軟件。ULVAC SRH-530濺射裝置非常適合生產高性能薄膜，如防反射塗層、防護塗層、導電層和光學薄膜。該機可用於半導體、汽車、電子、光學等幾個行業。SRH-530設計緊湊，操作方便。其性能和準確性使其成為薄膜沈積應用的高質量選擇。