二手 ULVAC SRH-820 #293607565 待售
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ID: 293607565
Sputtering system
DC High voltage
Gas: Ar
Gas dissociation
Ions hit target
Target backsputter deposited on Wafer
Chambers:
Load lock
Transfer
Heat
Etch
(2) TiW
Vacuum:
Load lock chamber: Dry pump
H2 / Transfer chamber: Dry pump + cryo pump
Etch chamber: Dry pump + turbo pump
TiW / Au Chamber: Dry pump + turbo pump.
ULVAC SRH-820是一種高水平、高性能的濺射設備,專為各種沈積應用而設計。它采用了最新的濺射技術，以提供卓越的塗層均勻性、可重復性和吞吐量。該系統非常適合反應性濺射，能夠產生多種類型的膜，包括氧化物、氮化物、非晶態和結晶結構。ULVAC SRH 820利用先進的磁控管濺射裝置和獨特的陽極構型對基板進行最大程度的離子轟擊。這提供了優秀的附著和最小的附著故障。此外，該機還具有包括電流、壓力和流量在內的一系列過程變量，以確保最高質量的薄膜形成。SRH-820最顯著的特點之一是雙目標技術。這允許兩個目標被安置在一個單獨的房間裏，有單獨的權力和控制。每個目標都是獨立操作和監測的，即使在大型基板上也能提供出色的均勻性。獨立的目標可以以不同的速率獨立濺射，以達到各種薄膜和厚度要求。SRH 820還具有用於高功率和復雜工藝應用的冷卻功能。可以選擇閉環冷卻工具或風冷資產。閉環冷卻模型提供了極佳的散熱性能，確保在任何基板上均勻沈積。ULVAC SRH-820被設計為一種開放式架構，適合與一系列兼容的工藝氣體一起使用，包括氧氣、氮氣和氙氣。PLC控制的安全邏輯也確保了過程的穩定性，確保了最高質量的沈積，對基材或設備的損壞風險最小。ULVAC SRH 820用途廣泛,能夠擴展到包括各種目標材料、工藝氣體和基板。其強勁的性能和高水平的品質飾面正迅速成為先進塗料行業的首選。
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