二手 ULVAC SRH-820 #9384114 待售

ULVAC SRH-820是為研究和生產應用而設計的先進濺射設備。該系統利用雙目標的直流/射頻濺射，能夠沈積在平面和曲面上。它最常用於金屬、氧化物、氮化物等各種材料的薄膜沈積。該單元包括具有氣體凈化功能的高真空室、磁控管源、靜電基板卡盤和超高頻磁控管源。超高頻磁控管源允許穩定的濺射性能和較低功率下的高吞吐量。八軸靜電基板級能夠旋轉和傾斜，以便在不同形狀的基板上有效濺射。該室還包括用於在曲面上濺射的氣體屏蔽湍流射流和用於在大表面上均勻濺射的磁體陣列陣列。腔室還包括傳輸線和介質濾波器陣列，以減少過程中產生的顆粒和其他雜質的影響。高功率磁控管源也是可調的，可用於短沈積時間。機器還提供溫度控制的基板級，溫度範圍從-30到+250°C，允許各種材料在不同溫度下沈積。該工具還包括一個用於自動控制射頻功率、目標電流和基板溫度的濺射控制器。它還具有多種安全功能,例如安全開關和檢測到異常時的警告顯示屏。ULVAC SRH 820非常適合各種沈積應用，從小樣品到大基板。它能夠方便地處理各種材料的薄膜沈積，具有穩定性、均勻性和可靠性。憑借其先進的功能，SRH-820已成為濺射應用的熱門選擇。