二手 ULVAC SRH-820 #9398866 待售

ULVAC SRH-820是一種用於沈積金屬和介電薄膜的濺射設備。它具有直接電阻磁控管濺射特性，能夠精確控制濺射速率和薄膜厚度均勻性，從而提高性能和可靠性。ULVAC SRH 820的工作室配備了獨特的薄膜形成機制-Dual Now Vacuum Field Control （Denfield）-它結合了靜電屏蔽和強大的磁控管源以獲得穩定的過程控制和高質量的薄膜。該系統還可以針對各種應用進行定制，具有控制硬件、軟件、材料和組件，以優化成品的表面和薄膜結構。SRH-820的設計包括高精度、低能量的射頻磁控管源，使大面積濺射沈積具有良好的均勻性。這種設計允許良好的薄膜均勻性和出色的顆粒控制，有助於提高工藝穩定性，提高設備可靠性，降低擁有成本。雙真空設計還允許過程的靈活性以及更高的沈積速率。此外,射頻磁控管、DC/RF磁控管和所有濺射元件的設計均可容納高達110kW的高功率,從而實現速度、質量和薄膜結構各異的沈積。SRH 820與最廣泛采用的PC控制接口之一,即基於Windows的軟件的兼容性,使編程和控制單元變得更加容易。直觀的界面還允許用戶快速訪問以前的數據，並針對各種程序要求快速設置多個應用程序。此外,內置錄音機還提供詳細的文檔供進一步分析。為確保最佳性能和運行,ULVAC SRH-820具有多種安全功能,包括緊急電源開關、壓力/真空指示器和自動粒子監視器等。ULVAC SRH 820改進的濺射能力和可選的現場診斷功能提供了比其他系統更多的優勢。總之，SRH-820是一種精密的濺射工具，可以精確控制濺射沈積和薄膜的形成。其Dual Now Vacuum Field Control、多個濺射源、廣泛的材料兼容性以及內置的安全特性，使其成為高精度、高品質應用的有力選擇。