二手 ULVAC SV-4540 #9313930 待售

ULVAC SV-4540濺射設備旨在為基板提供精確的塗層,使基板具有各種形狀、尺寸和重量的材料。該系統采用雙直流和射頻電源、先進的濺射技術和優化的工藝序列，提供了卓越的塗層質量和可靠性。SV-4540是一個高度自動化和多功能的單元,可實現廣泛的流程功能。它最多支持四個濺射源、兩個泵和一個高溫串聯溫度控制器。它提供了多種高真空工藝選擇，包括反應性濺射、磁控管濺射、低壓濺射、離子束濺射等等。該機器提供了工藝氣體控制的選項，可以進行氣體引導沈積等工藝。它利用先進的HMI （Human-Machine Interface）和觸摸屏啟用功能。該工具還具有高真空互鎖系統、原位自動壓力控制和廣泛的工藝控制器選擇。ULVAC SV-4540的特點是其出色的性能和成本效益。它擁有自動化和用戶友好的控制資產，可以優化流程並增強流程的可重復性。該濺射模型結合了主動壓力控制和快速脈沖直流源，為各種工藝應用提供了均勻性和高重復性。SV-4540濺射設備以高精度工程和可靠操作為後盾。它具有板載部件識別、精確的濺射控制以及容納各種尺寸和形狀的基板的大腔室尺寸。此外，它還具有精確的材料控制功能，使其能夠沈積具有高度均勻層厚的材料。總而言之,ULVAC SV-4540濺射系統提供精確的操作、卓越的層覆蓋和均勻性,以及經濟高效的結果。這個用戶友好的單元允許工藝優化和可靠的基板塗層具有高可重復性，使其非常適合廣泛的工藝應用。